全球最先進3nm晶圓廠塵埃落定4000億投資
隨著三星加快7nm EUV工藝量產,台積電領先了一年的7nm先進工藝今年會迎來激烈競爭,IBM、NVIDIA以及高通都要加入三星的7nm EUV陣營了。
台積電從去年就開始啟動3nm晶圓廠的建設工作,由於晶圓廠對水力、電力資源要求很高,初期的環評工作很嚴格,今天台灣環保部門公佈了台積電3nm晶圓廠的專案初審,通過了新竹科學園區有過寶山用地的申請,這意味著台積電的3nm晶圓廠最終落地在新竹園區。
根據台積電之前的資料,整個3nm晶圓廠預計會在2020年正式動工建設,耗資超過4000億新台幣。
由於摩爾定律逐漸到了物理極限,3nm被認為是最後的一代矽基半導體工藝,因為1nm節點會遭遇嚴重的干擾。為了解決這個問題,三星宣佈在3nm節點使用GAA環繞柵極晶體管工藝,通過使用納米片設備製造出了MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET,多橋-通道場效應管),該技術可以顯著增強晶體管性能,主要取代FinFET晶體管技術。
與三星相比,台積電並沒有公佈過3nm工藝的具體技術細節,預計也會改用全新結構的晶體管工藝,只不過目前尚無明確消息。