制備太陽電池用鍍膜的設備

為提高光伏產品的競爭力，最有效的途徑之一是提高太陽電池的轉換效率。除了通過各種技術手段提高電池片本身的轉換效率外，在提高其封裝材料—光伏玻璃的透光率和耐候性等方面也得到了長足的發展。目前主流的技術方案是在光伏玻璃表面鍍減反射膜，即採用溶膠凝膠法，在光伏玻璃表面塗覆一層或多層薄膜材料，以降低在特定波段光譜的反射，從而提高光伏玻璃的透光率。在玻璃表面實施鍍膜的方式包括輥塗法、噴塗法和表面刻蝕法等，其中輥塗法因實施方便得到最廣泛的應用。

然而，目前所有的技術方法，都不能很好的解決鍍膜膜層均勻性的問題。噴塗法鍍膜過程中，噴槍中心鍍膜液富集多，造成花斑；表面刻蝕法因壓花玻璃表面成分難以均一，導致刻蝕反應的速度不一致造成膜厚不均勻；

手套箱蒸鍍一體機本系統由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，並在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍後樣品的檢測。主要用於太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體制備等實驗研究與應用。

蒸發鍍膜與手套箱組合，做到蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉製作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。