傳台積電今年將購入18台EUV光刻機，7nm EUV最快3月量產！

目前蘋果A12/A12X、華為麒麟980、AMD Radeon VII等7nm晶片均由台積電代工，不過，目前台積電量產的7nm制程仍是基於DUV（深紫外）工藝。相比之下，雖然三星的7nm目前仍未量產，但是三星則是直接採用了更為先進的EUV（極紫外）工藝，有望領先台積電的7nm EUV制程。消息稱，三星去年就小規模投產了7nm EUV。

所以，台積電要想保持優勢，就必須要加快7nm EUV的進程。而7nm EUV工藝的關鍵在於EUV光刻機，今年ASML（荷蘭阿斯麥）也計劃提高EUV光刻機的產能，以及將年出貨量由之前的18台提升到今年的30台。

而來自產業鏈的最新消息稱，台積電將包攬ASML今年的30台EUV光刻機中的18台，加上之前採購的幾台，台積電有望在今年3月份啟動7nm EUV的量產，推動7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。

目前，ASML現款EUV光刻機Twinscan NXE: 3400B（今年會有新型號3400C）報價約1.2億美元（約合8億人民幣），也就是說台積電訂購的這18台EUV光刻機總價接近150億元。

此外，台積電還計劃在今年第二季度啟動5nm工藝的風險試產，值得注意的是，5nm必須採用EUV工藝才能夠做到。

此前台積電聯合CEO魏哲家在投資者會議上也曾，2019年上半年晚些時候將會流片5nm，量產時間將會再2020年上半年。

編輯：芯智訊-林子