MEMS傳感器的優點及特點介紹

MEMS（Microelectromechanical systems，微機電系統/微機械/微系統）在我們的生活中應用越來越廣泛，例如我們常見的智慧型手機，健身手環、列印機、汽車、無人機以及VR/AR頭戴式設備，部分早期和幾乎所有近期電子產品都應用了MEMS器件，例如像我們所說的MEMS傳感器就是採用微電子和微機械加工技術製造出來的新型傳感器。

MEMS傳感器主要優點是體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易於集成等，是微型傳感器的主力軍，正在逐漸取代傳統機械傳感器，在各個領域幾乎都有應用，不論是消費電子產品、汽車工業、甚至航空太空、機械、化工及醫藥等各領域，但是就國內而言，大陸大部分高端MEMS傳感器依賴進口，技術裝備國產化亟待加速。

由西安精準測控自主研發生產的陀螺、加速度計、傾角傳感器、磁羅盤等慣性產品，同時其慣性導航系統及組合導航系統，小型化、低成本的組合導航系統廣泛應用於無人機、車載動中通、智能駕駛、水面裝配、無人水下航行器，同時為各類火箭彈、智能炮彈等提供姿態控制解決方案，並為無人駕駛系統提供導航、飛控一體化平台。

西安精準測控旗下mems加速度傳感器型號：

單雙軸通用型MEMS加速度傳感器PA-LAS系列 單軸低噪聲MEMS加速度傳感器PA-LAMI系列

三軸數字矽微MEMS加速度傳感器PA-LAMⅢ-01D系列 三軸模擬矽微加速度計PA-LAMⅢ-01系列

用MEMS工藝製造傳感器、執行器或者微結構， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產等特點， 產能高，良品率高,綜上所述，微米量級的特徵尺寸使MEMS傳感器可以完成某些傳統機械傳感器所不能做到的功能。是微型傳感器的主力軍，正在逐漸取代傳統機械傳感器，普遍應用於消費電子產品、汽車工業、航空太空、機械、化工及醫藥等各領域。常見產品有壓力傳感器，加速度計，陀螺，靜電致動光投影顯示器，DNA擴增微系統，催化傳感器。

按照工作原理分類：每一種MEMS傳感器又有很多種細分方法，如加速度計，按檢測質量的運動方式劃分，有角振動式和線振動式加速度計等，常見的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS矽麥克風等等;MEMS傳感器的品種多到可以以萬為單位，且不同MEMS之間參量較多，沒有完全標準的工藝。

西安精準測控旗下mems三軸陀螺儀型號：

單軸矽微MEMS角速率陀螺PA-ARG-0200型系列 單軸石英MEMS角速率陀螺PM-ARS-XXXB型

單軸數字陀螺儀PA-ARG-01D 三軸模擬矽微MEMS角速率陀螺PA-3ARG-01系列

三軸模擬矽微MEMS角速率陀螺PA-3ARG-01系列 三軸數字矽微MEMS角速率陀螺PA-3ARG-01D系列