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X射線光電子能譜分析（XPS測試）應用範圍
Thermo ESCALAB 250Xi X射線光電子能譜綜合了高靈敏度與高分辨率定量成像以及多種測試技術能力。是眾多材料特性表征技術中行之有效的測試手段，目前已成為從生物材料到半導體材料等許多技術領域先進材料開發的重要工具。先進的Avantage數據采集和處理系統確保了從測試數據中挖掘盡可能多的信息。 同時還配備了微聚焦X射線單色器，提供優化的XPS性能，其市場領先的靈敏度確保了最大樣本量。XPS並行成像是選擇最好橫向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空間分辨率優於3µm。
利用它可進行：（1）物質定性分析：根據測得的光電子動能可確定材料表面存在哪些元素，靈敏度(0.1at%)；（2)物質定量分析：根據某種能量的光 電子的強度確定元素在其表面的含量，誤差20%左右；（3）元素化學態分析：根據某元素光電子動能的位移可了解元素所處的化學狀態。
XPS測試的樣品一般是 10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超過 5mm. XPS 分析室的真空度可以達到<10-9 Pa, 因此樣品要乾燥，不能釋放氣體。XPS的靈敏度很高，待測樣品表面，絕對不能用手，手套接觸，也不要清洗。
X射線光電子能譜分析（XPS測試）參考標準：
GB/T 17359-2012微束分析 能譜法定量分析
X射線光電子能譜分析（XPS測試）功能與特點
（1）定性分析–根據測得的光電子動能可以確定表面存在哪些元素，
a. 能夠分析出了氫，氦以外的所有元素，靈敏度約0.1at%。 空間分辨率為 100um, X-RAY 的分析深度在 1.5nm 左右。
b. 相隔較遠，相互干擾較少，元素定性的相鄰元素的同種能級的譜線標識性強。
c. 能夠觀測化學位移，化學位移同原子氧化態、原子電荷和官能團有關。化學位移信息是利用XPS進行原子結構分析和化學鍵研究的基礎。
（2）定量分析–根據具有某種能量的光電子的強度可知某種元素在表面的含量，誤差約20%。既可測定元素的相對濃度，又可測定相同元素的不同氧化態的相對濃度。
（3）根據某元素光電子動能的位移可了解該元素所處的化學狀態，有很強的化學狀態分析功能。
（4）由於只有距離表面幾個奈米範圍的光電子可逸出表面，因此信息反映材料表面幾個奈米厚度層的狀態。
（5）結合離子濺射可以進行深度分析。
（6）對材料無破壞性。
（7）由於X射線不易聚焦, 照射面積大,不適於微區分析。
（8）是一種高靈敏超微量表面分析技術，樣品分析的深度約為20Å，信號來自表面幾個原子層，樣品量可少至10的-8次方g，絕對靈敏度高達10的-18次方g。
X射線光電子能譜分析（XPS測試）原理
X射線光電子能譜分析（XPS測試）注意事項
（1）樣品最大規格尺寸為1×1×0.5cm，當樣品尺寸過大需切割取樣。
（2）取樣的時候避免手和取樣工具接觸到需要測試的位置，取下樣品後使用真空包裝或其他能隔離外界環境的包裝， 避免外來污染影響分析結果。
（3）XPS測試的樣品可噴薄金（不大於1nm），可以測試弱導電性的樣品，但絕緣的樣品不能測試。
（4）XPS元素分析範圍Li-U，只能測試無機物質，不能測試有機物物質，檢出限0.1%。
文章轉載：http://www.tdt-lab.com/article/2083.html