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MEMS的快速發展基於相關技術的相對成熟，但是MEMS對於大部分人來說還是比較陌生的。我們所說的MEMS 的全稱是微型電子機械系統（Micro Electromechanical System），利用傳統的半導體工藝和材料，集微傳感器、微執行器、微機械機構、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等於一體的微型器件或系統。具有小體積、低成本、集成化等特點。
西安精準測控有自主生產研發的陀螺儀傳感器、加速度計、傾角傳感器、磁羅盤等，並提供慣性導航系統、組合導航系統、IMU、航姿系統等多種自主研發的傳感器以及物聯網產品解決方案。
一、單軸MEMS低噪聲系列加速度傳感器（西安精準測控）
型號
量程
（g）
註①
靈敏度
（mv/g）
滿量程
輸出（V）
註②
輸出噪聲
（μg/）
非線性
(%FR)
帶寬
(Hz)
註③
供電
（V）
工作溫度
(℃)
外形尺寸
(mm3 )
PA-LAMI-002L
±2
2000
±4
5
0.3
400
±15
註④
-55~+125
28x28x16
PA-LAMI-005L
±5
800
±4
7
0.3
600
PA-LAMI-010L
±10
400
±4
10
0.3
1000
PA-LAMI-025L
±25
160
±4
25
0.3
1500
PA-LAMI-050L
±50
80
±4
50
0.3
2000
PA-LAMI-100L
±100
40
±4
100
0.5
2500
PA-LAMI-200L
±200
20
±4
200
0.5
3500
PA-LAMI-400L
±400
10
±4
400
1
4000
PA-LAMI-002
±2
1000
0.5～4.5
18
0.3
800
±5
註⑤
-55~+125
28x28x16
PA-LAMI-005
±5
400
0.5～4.5
45
0.3
1500
PA-LAMI-010
±10
200
0.5～4.5
90
0.5
3000
PA-LAMI-030
±30
66.7
0.5～4.5
270
0.5
3000
PA-LAMI-050
±50
40
0.5～4.5
450
0.6
3000
PA-LAMI-100
±100
20
0.5～4.5
900
0.8
3000
PA-LAMI-200
±200
10
0.5～4.5
1800
1
3000
註：①我們可根據用戶的測量範圍進行設計製造。
②我們也可提供其他輸出電壓範圍，比如±5，0~2.5V等。
③具體帶寬值，定貨時需說明。
④也可選擇5~15V單電壓供電，但靈敏度值僅為雙電源供電的一半。
⑤也可以選擇寬電壓範圍供電，比如6-15V，定貨時需說明。此外，該類傳感器還具有
溫度傳感器輸出選項，用戶需要時可引出。
二、三軸MEMS加速度傳感器選型表
型號
量程（g）
註①
供電（vdc）註②
滿量程輸出(V)
非線性(%FR)
工作溫度(℃)
外形尺寸(mm3 )
備註
PA-LASⅢ-01
ax=±2～±500；ay=±2～±500；az=±2～±500；
+5
0.5～4.5
≤0.2
－45～＋85
25x25x24和
35*35*25
通用型
PA-LAMⅢ-01
ax=±2～±400；ay=±2～±400；az=±2～±400；
+5
0.5～4.5
≤0.5
－55～＋125
低噪聲型
PA-LAMⅢ-02
ax=±2～±200；ay=±2～±200；az=±2～±200；
+5
0.5～4.5
≤0.5
中精度
PA-LAMⅢ-01D
ax=±2～±400；ay=±2～±400；az=±2～±400；
+12
RS422/
RS232
≤0.5
－55～＋125
50*50*50
溫補型
PA-LAMⅢ-02D
ax=±2～±200；ay=±2～±200；az=±2～±200；
+12
RS422/
RS232
≤0.5
－55～＋125
50*50*50
溫補型
