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MEMS是一種可對微米/奈米材料進行設計、加工、製造、測量和控制的技術，隨著社會不斷飛速發展，MEMS在導航行業日益受到青睞，MEMS它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一整體單元的微型系統。與傳統的陀螺儀相比較MEMS陀螺儀使用了不同的工作原理，性能特點上更具有優勢，在各個行業得到廣泛的應用，本次先以MEMS陀螺儀開始，簡要介紹一下MEMS陀螺儀、主要性能參數和使用。
一、MEMS陀螺儀介紹
MEMS陀螺儀的核心是一個微加工機械單元，在設計上按照一個音叉機制共振運動，通過科里奧利力原理把角速率轉換成一個特定感測結構的位移。以一個單軸偏移（偏航，YAW）陀螺儀為例，通過圖利探討最簡單的工作原理。
最近幾代的MEMS技術已經能夠為航空電子設備提供高度 可靠的關鍵性能，可大幅降低尺寸、重量、功耗(SWAP)和 成本，在航空電子行業以及其它同樣具有高要求的應用中，基於 上一代MEMS或其它慣性技術的傳統解決方案在滿足性能 目標方面有目共睹。然而，這些技術在降低成本和其它經 濟實用性方面的進步卻非常有限。新一代的航空電子系統 承受著改善這些情況的壓力，使設備製造商面臨著需在無 更優技術可選的情況下完成開發目標的挑戰。航空電子設 備集成商目前所面對的是一個重大的兩難處境，即維持性 能不變的同時改善SWAP/成本。
二、MEMS單軸陀螺儀（精準測控）的主要型號參數如下：
量程（動態範圍） 靈敏度 零角速度輸出（零位輸出）
軸間交調靈敏度 刻度因子 非線性度 線性加速度敏感度
振動敏感度 零偏穩定性 噪聲密度 角度隨意遊走系統 帶寬 偏置電壓靈敏度
自檢功能 功耗 衝擊生存能力 工作溫度範圍 封裝誤差
註：① 每軸的測量範圍可根據用戶需求進行設計製造。
② 具體帶寬值定貨時需說明。
二、MEMS三軸陀螺儀（精準測控）的主要型號參數如下：
註：① 每軸的測量範圍可根據用戶需求進行設計製造。
② 具體帶寬值定貨時需說明。
縱觀目前整個電子行業的慣性MEMS元件，可以看出，此項MEMS技術可分為三大不同的應用方向。相應的解決方案都源 於這些主要應用領域之一：軍事、汽車或消費電子，面向汽車行業的技術針對苛刻的目標而將所有關鍵參 數進行了特別優化：性能、耐用性、成本、尺寸、重量和 功耗。顯然，各行業進一步發展的路線圖/潛力都有極大的 不同。
二、MEMS陀螺儀的部分型號：
MEMS陀螺儀應用案例:利用ADI ADXRS450檢測角速度
三軸模擬矽微MEMS角速率陀螺PA-3ARG-01
三軸數字矽微MEMS角速率陀螺PA-3ARG-01D
軸模擬矽微MEMS角速率陀螺PA-3ARG-01
三軸數字矽微MEMS角速率陀螺PA-3ARG-01D
